薄膜热电参数测试系统(MRS-3)
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薄膜热电参数测试系统MRS系列
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产品技术参数
型号 | MRS-3 | |
温度范围 | 100K~700K(样品温度) | |
温控方式 | PID程序控制 | |
真空度 | ≤ 10Pa | |
测试气氛 | 真空 | |
分辨率 |
seebeck系数:0.05µV/K 电阻率:0.05µΩ•m |
|
相对误差 |
seebeck系数 ≤ ±7% 电阻率 ≤ ±10% |
|
测量模式 | 自动 | |
样品尺寸 | 长度:10mm~18mm; 宽度:2mm~7mm;厚度:50nm~2mm | |
主机尺寸 | 采集箱:470mm*400mm*140mm | |
变温装置:直径 460mm*高 800mm | ||
重量 | 32kg |
Keyword:
热电参数测试
seebeck系数
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