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4吋快速退火炉(乐虎体育-3-04系列)

快速退火炉乐虎体育-3-04系列采用红外辐射加热技术,可实现大尺寸样品(4英寸样品)快速升温和降温,同时搭配超高精度温度控制系统,可达到极佳的温场均匀性,对材料的快速热处理(乐虎体育)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)及金属合金化等研究和生产工作起到重要作用。
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产品编号

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1
产品技术参数
产品特点
相关应用
案例客户
视频介绍
型号 乐虎体育-3-04系列
最高温度 1200℃
最大升温速率

150℃/s

最大降温速度

1200℃→400℃:

裸片600℃/min(双石墨盘130℃/min)

400℃→100℃:

裸片20℃/min(双石墨盘10℃/min);

(氮气吹扫)

控温精度

±0.5℃(RT-1000℃)

±1℃(1000-1200℃)

温场均匀性

≤1.5% 设定温度

≤3% 设定温度

≤5% 设定温度

腔体冷却 独立水冷
衬底冷却 氮气吹扫
气体流量 1~4路MFC控制
压力控制 ~1bar,±100Pa
最大样品尺寸 4英寸(直径100mm)

 

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产品特点
  • 可测大尺寸样品:可测单晶片样品的尺寸为4英寸。
  • 可远程操作:提供远程监控模块。
  • 压力控制系统创新设计:高精度控制压力,以满足不同的工艺要求。
  • 存储热处理工艺:方便工艺参数调取,提高实验效率,数据可查询。
  • 快速控温与高真空:最高升温速率可达150℃/s,真空度最高可达到10-3Pa。
  • 程序设定与气路扩展:可实现不同温度段的精确控制,ཧ进行降温段的自动转接,并能够对工艺菜单进行保存,方便调用。采用MFC精确控制气体流量,实现不同气氛环境(真空、氮气等)下的热处理。
  • 独特的腔体空间设计:保证大尺寸样品的温场均匀性 ≤1.5%。
  • 全自动智能控制:采用全自动智能控制,包括温度、时间、气体流量、真空、冷却水等均可实现自动控制。
  • 超高安全系数:采用炉门安全温度开启保护、温控器开启权限保护以及设备急停安全保护三重🍨安全措施,全方位保障设备使用安全。
产品应用
  • 金属电极合金化·········&midd𒅌ot;···········❀···华为海思半导体、中科院上海微系统与信息技术研究所、浙江大学微电子系
  • 硬质合金薄膜去应力退火··&mi🗹ddot;··········&mi💯ddot;··哈尔滨工业大学航天学院等
  • 石墨烯生长···············&midd♛ot;············中科💦院宁波材料技术与工程研究所等
  • 器件退火··············&middo🦩t;····♔;···········清华大学微电子系等
  • 材料再结晶、晶化··················&♚middot;·&mಌiddot;·华南理工大学材料科学与工程学院等
  • 热氧化、热氮化···············&🅘middot;········&midd🅠ot;·······浙江大学硅材料国家重点实验室、中国科学技术大学国家示范性微电子学院等
  • ITO膜致密化······················&mid🦄♑dot;····浙江大学信息与电子工程学院等
  • 应用于超净间······♐·🎉···················中国科学院上海微系统与信息技术研究所、清华大学微电子学研究所
  • 薄膜CVD生长········&mi🎃ddot;··············💧···武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室等
  • 搭载电学测试模块变温电阻测量···�♐�········华中科技大学微电子学院、中国工程物理研究所
  • 等离子注入/接触退火
  • 太阳能电池片键合
  • 低介电材料热处理
  • 芯片晶圆热处理
  • 键合炉
  • 其他热工艺需求
客户案例
中国科学院上海微系统与信息技术研究所中科院上海微系统与信息技术研究所
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快速退火炉
真空热处理设备
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乐虎体育科技
热氮化热氧化

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