4吋快速退火炉(乐虎体育-3-04系列)

快速退火炉乐虎体育-3-04系列采用红外辐射加热技术，可实现大尺寸样品（4英寸样品）快速升温和降温，同时搭配超高精度温度控制系统，可达到极佳的温场均匀性，对材料的快速热处理(乐虎体育)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)及金属合金化等研究和生产工作起到重要作用。

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型号	乐虎体育-3-04系列
最高温度	1200℃
最大升温速率	150℃/s
最大降温速度	1200℃→400℃: 裸片600℃/min(双石墨盘130℃/min) 400℃→100℃: 裸片20℃/min(双石墨盘10℃/min)；（氮气吹扫）
控温精度	±0.5℃(RT-1000℃) ±1℃(1000-1200℃)
温场均匀性	≤1.5% 设定温度 ≤3% 设定温度 ≤5% 设定温度
腔体冷却	独立水冷
衬底冷却	氮气吹扫
气体流量	1～4路MFC控制
压力控制	~1bar，±100Pa
最大样品尺寸	4英寸（直径100mm）