薄膜热导率测试系统(TCT-3HT)
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热导率测试系统TCT系列
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产品技术参数
设备型号 | TCT-3HT | ||
温度范围 | RT~500K | ||
测试对象 | 半导体薄膜、导电薄膜、绝缘薄膜等 | ||
测量范围 | 0.1-10W/(m·K) | ||
测试精度 |
≤±5%(Si衬底), ≤±10%(其他衬底) |
||
测试气氛 | 真空 | ||
样品尺寸 | 长 x 宽:(5-10)x(5-10)(mm);薄膜厚度:≥10nm | ||
其他注意事项 | 测量导电薄膜时,需要沉ꦗ积绝缘层(推荐:Sio2),薄膜表面要非常光滑,确保绝缘层不漏电;衬底热导率要远大于薄膜热导率,推荐使用Si、AIN等高热导衬底。 | ||
主机尺寸 | 710 x 600 x 490(mm) | ||
重量 | 80kg |
Keyword:
热导率测试
3ω测试
集成电路材料测试
热阻材料测试
热电材料测试
光电材料测试
变温热导率测试
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